QUANTAX FlatQUAD là một hệ thống phân tích vi vùng EDS dựa trên máy dò Flash FlatQUAD mang tính cách mạng. Máy dò SDD bốn kênh hình khuyên được thiết kế độc đáo này, hoạt động giữa giày ống kính quét và mẫu, có khả năng thu được các góc rắn lớn hơn để phân tích EDS. Kết hợp với phần mềm phân tích ESPRIT, hệ thống QUANTAX FlatQUAD cung cấp hiệu ứng phân phối tối ưu cho các mẫu có phổ năng lượng xiên truyền thống khó phân tích. Trong cụm thăm dò của máy dò FlatQUAD XFlash, bốn chip trôi silicon độc lập được sắp xếp thành một vòng tròn xung quanh lỗ trung tâm, nơi các chùm electron tới đi qua. Vật liệu dò được lựa chọn đặc biệt để tránh ảnh hưởng đến chùm electron và đảm bảo hình ảnh gương điện chất lượng cao. Với công nghệ dò tìm hoàn toàn mới,

Trái tim của hệ thống QUANTAX FlatQUAD - Máy dò FlatQUAD XFlash，

Dựa trên khái niệm thiết kế máy dò mới lạ, giao diện ngang được lắp đặt trong kho mẫu gương quét, cho phép máy dò được đặt giữa giày điện cực và mẫu. Còn máy dò truyền thống thì áp dụng giao diện nghiêng của gương điện. Đầu dò FlatQUAD XFlash có thể tương thích với các loại gương quét khác nhau. Máy dò được cấu hình với các cửa sổ polymer đặc biệt có độ dày khác nhau để hấp thụ các electron tán xạ phía sau ở các điện áp tăng tốc khác nhau.

Phân tích phổ năng lượng quét góc rắn được tối ưu hóa:

Vị trí và kích thước của chip dò XFlash FlatQUAD (diện tích hoạt động 4 × 15mm) cung cấp góc rắn lớn hơn để thu thập tia X trong gương quét. Khả năng thu được góc rắn lớn hơn 1sr và góc phát hiện ít nhất 60 °.

Tỷ lệ đếm siêu cao và độ phân giải năng lượng tăng gấp đôi

Hiệu quả thu thập cực cao mang lại tỷ lệ đếm cực cao và mỗi chip được trang bị một kênh xử lý tín hiệu độc lập. Tỷ lệ đếm đầu vào (ICR) và tỷ lệ đếm đầu ra (OCR) có thể lên tới 4.000 kcps và 1.600 kcps tương ứng. Công nghệ SDD chuyên nghiệp của Brook cho phép XFlash FlatQUAD đảm bảo độ phân giải năng lượng Mn-Kα126eV, C-K 51eV, F-K60eV ở tốc độ đếm 100kcps.

Nguyên tắc:

XFlash FlatQUAD là một máy dò phẳng được đặt giữa giày ống kính quét và mẫu. Bốn tinh thể trôi dạt silicon được sắp xếp theo vòng tròn xung quanh lỗ trung tâm, nơi các chùm electron tới đi qua. Thích hợp cho khoảng cách làm việc khác nhau và có hiệu suất tuyệt vời.