Trong nhiều ứng dụng khí siêu tinh khiết, chẳng hạn như trong ngành công nghiệp bán dẫn, độ ẩm còn sót lại trong khí là rất quan trọng cho hoạt động đúng đắn của quá trình xử lý. Luôn luôn, việc theo dõi độ ẩm liên tục là một khó khăn, đòi hỏi phải sử dụng máy phân tích độ ẩm phức tạp hoặc kỹ thuật phân tích đắt tiền. Tuy nhiên, đồng hồ đo Mixel hiện đang giới thiệu cho thị trường một chương trình đơn giản, tiết kiệm và khá hiệu quả để đo giá trị điểm sương trực tuyến với giới hạn dưới đáng kinh ngạc là -120 ° C (tương đương với ít hơn 1 ppb).V)。 Máy phát Pura được xây dựng dựa trên nhiều năm kinh nghiệm chuyên môn trong sản xuất và kiểm tra cảm biến điểm sương trở kháng của đồng hồ đo Mixel, kết hợp với vật liệu công nghiệp tiêu chuẩn và quy trình sản xuất để tạo ra máy phát giá thấp đầu tiên cho ngành công nghiệp sản xuất chất bán dẫn và các ứng dụng khí siêu tinh khiết. Điểm nổi bật Đo giới hạn dưới -120 ° C Điểm sương (1 ppb)V) Đo lường ổn định, lặp lại tốt Thiết bị lấy mẫu tích hợp cao Đầu ra analog và digital Cài đặt dễ dàng Giao diện quy trình VCR Thiết kế nhỏ gọn và nhỏ gọn Bộ hiển thị/báo động Tùy chọn
Chỉ số kỹ thuật
Cảm biến Loại cảm biến Cảm biến độ ẩm gốm Mixel Phạm vi -120~-40 ° C Điểm sương (kiểm tra đến -100~-40 ° C) Độ chính xác ± 1 ° C -40 ~ -60 ° C; ± 2 ° C -61 ~ -100 ° C; ± 4 ° C -101~-120 ° C (ước tính) Độ phân giải 0,1 ° C -40 ~ -79,9 ° C; 1 ° C -80 ~ -100 ° C; 1 ~ 3 ° C -100 ~ -120 ° C áp lực Tối thiểu 10-9 torr Tối đa 24 MPa Lưu lượng khí 1 ~ 5 Nl / phút Điện nguồn điện Thông thường 24 V DC, tối thiểu 10 V~tối đa 28 V, tối đa hiện tại 25 mA đầu ra Đầu ra 4-20 mA, phạm vi tương ứng có thể được điều chỉnh bằng phần mềm chuyên dụng, điều chỉnh phạm vi từ 1~80 ° C (được cung cấp theo tiêu chuẩn) Tải tối đa=100Ω+50Ω x (Nguồn V -8) Xuất trạng thái lỗi Thông báo lỗi đầu ra tiêu chuẩn như sau: 23 mA=lỗi cảm biến; 20 mA=Giới hạn trên; 4 mA=Giới hạn dưới Tính chất cơ học Tay áo cảm biến Thép không gỉ, 0,1-0,2 Raµm đánh bóng nội bộ Cổng kết nối không khí Premium hoặc OEM loại: ¼'m VCR giao diện Loại Pura Sensor: Giao diện VCR ½'m Cấu hình cài đặt Premium hoặc OEM loại: 120.00mm chiều dài, mặt niêm phong cho các cổng đường dẫn không khí. Không cần để trống đường ống Trên đế có 2 lỗ gắn M4 x 0,7, sâu 7mm, khoảng cách chéo đối diện là 20 x 20mm Loại Pura Sensor: Phù hợp với cổng VCR ½'do người dùng cung cấp kích thước Loại Premium hoặc OEM: 120 x 35 x 150mm Cảm biến Pura 型: Số lượng: 132 x 35mm trọng lượng Loại Premium hoặc OEM: 450g Cảm biến Pura 型: 180g bao bì Pura: Bao bì hai lớp, niêm phong khí trơ Pura OEM hoặc Pura Sensor Loại: Gói một lớp Tất cả các phụ kiện được lựa chọn: Vận chuyển đóng gói độc lập Loại Sensor có vỏ bảo vệ ở đầu chip cảm biến để vận chuyển và vận hành