Trang chủBa mục tiêu Magnetron Sputter

Số mô hình:VTC-600-3HD

Tổng quan về sản phẩm:

VTC-600-3HD ba mục tiêu magnetron phún xạ VângzuiThiết bị mạ mới được phát triển và phát triển, có thể được sử dụng để chuẩn bị màng sắt điện đơn hoặc nhiều lớp, màng dẫn điện, màng hợp kim, màng bán dẫn, màng gốm, màng trung bình, màng quang học, màng oxit, màng cứng, màng Teflon, v.v. So với các thiết bị tương tự, nó không chỉ được sử dụng rộng rãi, mà còn có lợi thế về khối lượng nước tiểu để vận hành, nó là một thiết bị lý tưởng để chuẩn bị màng vật liệu trong phòng thí nghiệm, đặc biệt thích hợp để nghiên cứu chất điện phân trạng thái rắn và OLED trong phòng thí nghiệm.

Các tính năng chính:

• Nhiều loại phim có thể được chuẩn bị và ứng dụng rộng rãi
• Kích thước nhỏ và hoạt động dễ dàng
• Buồng chân không, thiết kế mô-đun của toàn bộ máy bơm chân không, nguồn điện điều khiển là thiết kế tách, có thể điều chỉnh nhu cầu mua theo nhu cầu thực tế của người dùng.
• Có thể lựa chọn nguồn điện theo nhu cầu thực tế của người dùng, có thể điều khiển nhiều súng mục tiêu bằng một nguồn điện, cũng có thể điều khiển nhiều súng mục tiêu bằng một nguồn điện

Đầu phún xạ Magnetron：

• Có 3 đầu phún xạ magnetron được lắp đặt trong thiết bị, và tất cả đều được làm mát bằng nước
• Một trong những đầu phún xạ được kết nối pha với nguồn RF, chủ yếu là mục tiêu cách nhiệt phún xạ
• Một đầu phún xạ khác được kết nối với pha nguồn DC, mục tiêu dẫn điện chính phún xạ
• Yêu cầu kích thước mục tiêu: đường kính 50mm, độ dày 0,1-5mm (khác nhau do độ dày khác nhau của vật liệu mục tiêu)
• Cáp kết nối RF có thể được đặt riêng để dự phòng
• Thiết bị chứa một máy làm mát nước để làm mát đầu mục tiêu

Bảng mẫu：

• Kích thước: 200mm (zuiLớn có thể đặt cơ sở 4')
• Bảng mẫu có thể xoay với tốc độ: 1 - 20 vòng/phút (có thể điều chỉnh)
• Bảng mẫuzuiNhiệt độ gia nhiệt cao là 500 ℃

Buồng chân không：

• Buồng chân không: φ300 mm × 300 mm H, được làm bằng thép không gỉ
• Cửa sổ quan sát: Φ100 mm
• Cách mở khoang được áp dụng để mở nắp trên, giúp thay đổi mục tiêu dễ dàng hơn

Bộ điều khiển lưu lượng khí：

• Thiết bị được lắp đặt bên trong với 2 đồng hồ đo lưu lượng khối với phạm vi: 0-100sccm
• Cài đặt lưu lượng khí có thể hoạt động trên màn hình cảm ứng 6 inch
• Ar khí là cần thiết cho hoạt động của hệ thống này và xi lanh được trang bị một van giảm áp (không có trong thiết bị)

Hệ thống hút chân không：

• Được trang bị một bộ hệ thống bơm phân tử GZK-103D (sản xuất tại Đức)
• Tiêu chuẩn 5E-5mbar Giới hạn 7,4E-6mbar

Đo độ dày phim：

• Một máy đo độ dày màng rung thạch anh chính xác được lắp đặt trên dụng cụ để theo dõi độ dày của màng trong thời gian thực với độ phân giải 0,10Å
• Màn hình LED hiển thị, cũng nhập dữ liệu liên quan đến bộ phim được sản xuất

Kích thước tổng thể sản phẩm：

• L1300mm×W660mm H1200mm
• Trọng lượng tịnh: 160 kg

Trang chủBa mục tiêu Magnetron Sputter

Số mô hình:VTC-600-3HD

Chứng nhận chất lượng:Chứng nhận CE

Mẹo sử dụng：

• Thiết bị này là thiết bị DIY, các thông số thay đổi lớn trước khi mua hãy chắc chắn để liên lạc cẩn thận qua điện thoại
• Để có được chất lượng phim tốt hơn, phải đi qua khí có độ tinh khiết cao (Khuyến nghị>5N)
• Đảm bảo đầu phun, mục tiêu, tấm nền và bảng mẫu sạch sẽ trước khi phun sơn
• Để đạt được sự kết hợp tốt của bộ phim với chất nền, làm sạch bề mặt chất nền trước khi phún xạ
• Làm sạch bằng siêu âm (các thông số chi tiết nhấp vào hình ảnh dưới đây): (1) Siêu âm acetone (2) Siêu âm isopropanol - Loại bỏ dầu mỡ (3) Làm khô nitơ thổi (4) Lò chân không loại bỏ độ ẩm.
• Làm sạch plasma: có thể làm nhám bề mặt, có thể kích hoạt liên kết hóa học bề mặt, loại bỏ các chất gây ô nhiễm bổ sung.
• Tạo một lớp đệm mỏng (khoảng 5 nanomet): chẳng hạn như Gr, Ti, Mo, Ta, có thể được áp dụng để cải thiện độ bám dính của kim loại và hợp kim.

Cảnh báo：

• Lưu ý: Sản phẩm được cài đặt bên trong với các thành phần điện áp cao, cấm tháo dỡ và lắp ráp riêng tư, với cơ thể di động điện
• Van giảm áp phải được lắp đặt trên xi lanh khí (không bao gồm thiết bị tiêu chuẩn), đảm bảo áp suất đầu ra của khí được giới hạn ở 0,02 MpaDưới đây để sử dụng an toàn
• Đầu phun được kết nối với điện áp cao. Để an toàn, người vận hành phải lắp ráp và thay thế mục tiêu trước khi tắt thiết bị.