Ngày 28/10, "Kiến nghị của Trung ương Đảng Cộng sản Trung Quốc về xây dựng quy hoạch 5 năm phát triển kinh tế - xã hội quốc dân" chính thức công bố. "Khuyến nghị" được nêu rõ trong phần "Đẩy nhanh sự tự lập và tự cường của khoa học và công nghệ ở trình độ cao" để cải thiện hệ thống quốc gia kiểu mới và thực hiện các biện pháp siêu thông thường, thúc đẩy toàn bộ chuỗi để đạt được bước đột phá quyết định trong việc khắc phục các khó khăn công nghệ cốt lõi quan trọng trong các lĩnh vực trọng điểm bao gồm mạch tích hợp và thiết bị cao cấp. Việc triển khai này không chỉ xác lập lại tầm cao chiến lược của ngành công nghiệp mạch tích hợp, mà còn nhấn mạnh vai trò quan trọng của các thiết bị cao cấp trong việc đảm bảo an ninh chuỗi công nghiệp quốc gia.

I. Đáp ứng lời kêu gọi chính sách, thay thế chất bán dẫn trong nước

Trong những năm gần đây, nhà nước đã liên tục ban hành một loạt các chính sách hỗ trợ sự phát triển sáng tạo của toàn bộ chuỗi công nghiệp mạch tích hợp và nâng cao khả năng kiểm soát độc lập. Là một doanh nghiệp niêm yết trong nước về cảm biến khí và dụng cụ khoa học cao cấp, Công ty TNHH Quang điện Xifang (sau đây gọi là "quang điện Xifang") và công ty con thuộc sở hữu hoàn toàn Xifang Photonics (Vũ Hán) Instrument Co., Ltd. (sau đây gọi là "nhạc cụ Xifang") tích cực đáp ứng lời kêu gọi chính sách quốc gia, dựa vào sự tích lũy kỹ thuật sâu sắc và hiểu biết sâu sắc về công nghiệp trong lĩnh vực cảm biến khí, lĩnh vực sản xuất chính xác chất bán dẫn bố trí tương lai, một hệ thống nghiên cứu và phát triển công nghệ hoàn chỉnh đã được xây dựng, đặc biệt là trên nguyên tắc cảm biến hồng ngoại (NDIR), zirconia và các nguyên tắc cảm biến khác, có khả năng nghiên cứu và phát triển độc lập hoàn toàn từ cảm biến cốt lõi đến công cụ phân tích cao cấp.

Để đáp ứng nhu cầu giám sát môi trường khí cực kỳ khắc nghiệt trong sản xuất chất bán dẫn, công nghệ liên tục quang điện bốn bên, phá vỡ độc quyền nước ngoài, nghiên cứu và phát triển độc lập để đưa ra cảm biến khí hồng ngoại và máy phân tích oxy vi mô và nhiều sản phẩm sáng tạo khác, giải quyết chính xác các điểm đau cốt lõi của ngành, cung cấp hỗ trợ công nghệ nội địa hóa vững chắc và đáng tin cậy cho sự phát triển chất lượng cao của ngành công nghiệp bán dẫn Trung Quốc.

Thứ hai, tập trung vào công nghệ cốt lõi để sản phẩm sáng tạo trực tiếp đánh vào điểm đau của ngành

01. Cảm biến khí hồng ngoại: xác định chính xác điểm kết thúc làm sạch, thúc đẩy sản xuất xanh

Trong quá trình lắng đọng màng (CVD/ALD), làm sạch buồng là một bước quan trọng để đảm bảo sự ổn định của quá trình. Các phương pháp kiểm soát dựa trên thời gian thực nghiệm truyền thống, thường áp dụng các chiến lược làm sạch quá mức để tránh làm sạch không triệt để, đã gây ra sự lãng phí lớn các khí quá trình đắt tiền như NF₃.

Bộ cảm biến khí hồng ngoại Gasboard-2060 của Quad Photonics đánh thẳng vào điểm đau này. Sản phẩm này cho phép xác định chính xác và thông minh điểm cuối của quá trình làm sạch bằng cách theo dõi chính xác sự thay đổi nồng độ của các sản phẩm phụ như SiF₄ trong thời gian thực. Điều này giúp khách hàng giảm hiệu quả chi phí vận hành và thực hiện khái niệm sản xuất xanh trong khi đạt được kiểm soát quy trình chính xác.

02. Máy phân tích oxy vi lượng: độ chính xác 0.1ppm, môi trường bảo vệ quá trình tinh khiết

Trong sản xuất chất bán dẫn, ô nhiễm oxy là "kẻ giết người vô hình" ảnh hưởng đến tỷ lệ chip tốt. Ngay cả dấu vết của oxy (ở mức ppm) cũng đủ để kích hoạt các phản ứng oxy hóa không mong muốn, dẫn đến các khiếm khuyết trong mạch tích hợp và tấm silicon, phá hủy tính toàn vẹn của cấu trúc màng và ảnh hưởng nghiêm trọng đến tính đồng nhất và độ tin cậy của sản phẩm.

Máy phân tích oxy nồng độ thấp Gasboard-3050 Series được phát triển độc lập bởi Quadrant Photonics, độ phân giải tối thiểu lên tới 0,1 ppm, phạm vi bao phủ từ 0-10 ppm đến 100% O₂, mang cảm biến zirconia đã được chứng minh trong lĩnh vực này, có khả năng tái tạo tuyệt vời và đặc tính phản ứng tốc độ cao, có thể giám sát chính xác hàm lượng oxy trong khí quá trình và buồng thiết bị, do đó giúp khách hàng kiểm soát ô nhiễm oxy từ nguồn, đảm bảo đáng tin cậy cho việc nâng cao chất lượng sản phẩm.

Thứ ba, giành được sự tin tưởng của thị trường, lực lượng sản xuất trong nước được khách hàng đầu công nhận

Vớixuất sắcHiệu suất sản phẩm và hiệu suất chất lượng ổn định, chương trình giám sát khí trong ngành công nghiệp bán dẫn Quad Photonics đã thành công thâm nhập vào chuỗi cung ứng của một số doanh nghiệp sản xuất chất bán dẫn chính và các nhà sản xuất thiết bị trong nước, và nhận được đầu mua liên tục của khách hàng với đánh giá tốt. Phản hồi của khách hàng xác nhận rằng các sản phẩm quang điện của Quad trong các chỉ số chính như ổn định và tuổi thọ, đã đạt đến mức sản phẩm nhập khẩu tương tự, thực sự đạt được sự thay thế nội địa hóa.

Trong khi đó, Sifang Photonics tích cực tham gia vào SEMICON Trung Quốc, Hội nghị thường niên về thiết bị bán dẫn CSEAC và các sự kiện công nghiệp bán dẫn hàng đầu thế giới khác. Thông qua nền tảng triển lãm và trao đổi sâu sắc với ngành công nghiệp, liên tục mở rộng ảnh hưởng của thương hiệu, thể hiện sức mạnh sáng tạo và tinh thần tiến bộ của các doanh nghiệp Trung Quốc trong lĩnh vực thiết bị khoa học cao cấp.

Triển vọng hành trình mới "15 năm", thiết bị cấp cao và vận mệnh của ngành công nghiệp mạch tích hợp gắn bó với nhau. Quadrant Photonics sẽ tiếp tục duy trì tâm lý ban đầu của tự lực công nghệ, xoay quanh chiến lược quốc gia và nhu cầu công nghiệp, liên tục giải quyết vấn đề "kẹt cổ" trong lĩnh vực phân tích khí cao cấp, với các giải pháp cảm biến sáng tạo và đáng tin cậy hơn, cho phép tăng hiệu quả nâng cao và kiểm soát độc lập của ngành công nghiệp bán dẫn Trung Quốc.